Увод у подлоге за полирање подова

Састав материјала јастучића за брушење пода (који се такође називају јастучићи за полирање или јастучићи за брушење) варира у зависности од њихове намераване примене и специфичне фазе процеса обраде.

Јастучићи за полирање-такође познати као ЦМП јастучићи или хемијски-јастучићи за механичку планаризацију- служе као основни потрошни материјал у процесу хемијског-механичког полирања (ЦМП). Првенствено се користе за површинску планаризацију супстрата као што су полупроводничке плочице. Обично се производе од материјала као што је полиуретан, а ови јастучићи су широко категорисани-на основу њиховог састава-у типове укључујући полиуретан, не-тканине, природне материјале и композитне материјале. Историјски гледано, ово тржиште је било снажно монополизовано од стране страних предузећа; на домаћем тржишту, Динглонг Цо., Лтд. је репрезентативно предузеће у овом сектору.

Њихова основна функција током процеса полирања укључује испоруку суспензије за полирање, пренос притиска и вршење механичког трења на површини плочице.

Јастучићи за полирање обично имају порозну микроструктуру, са специфичним узорцима жљебова дизајнираним на њиховим површинама како би се побољшала униформност полирања.

Кључни параметри перформанси-као што су тврдоћа и узорци жљебова-су критични атрибути јастучића за полирање, јер директно утичу на брзину уклањања материјала и коначну завршну обраду површине.